Device for the presentation of parameters of a sample

Abstract

Abstract Translated from German Bei dem Verfahren werden Proben mit einem (Laser-) Lichtstrahl abgerastert und die von den Proben ausgehenden Strahlungen (Raman, Fluoreszenz, Photoelektronen etc.) im Takte der Abtastfrequenz detektiert und zur Erzeugung eines Bildes im Lichte dieser Strahlungen verwendet. Eine zur Durchführung des Verfahrens geeignete Vorrichtung besitzt eine Scanning-Einheit (53) z.B. einen Schwingspiegel, über den sowohl der anregende Lichtstrahl als auch die nachzuweisende Strahlung geführt werden. Dadurch ergeben sich bei allen Ablenkwinkeln gleichbleibende Abbildungsverhältnisse zwischen Probe (54) und Detektor (63). Zum Nachweis von Photoelektronen dient ein separater Detektor (55). In diesem Falle wird das von der Probe (54) reflektierte Licht zur Erzeugung eines weiteren Bildes über die Scanning-Einheit (53) geführt. In the method, samples are scanned with a (laser) light beam and the radiation (Raman, fluorescence, photoelectrons etc.) emanating from the samples is detected in time with the scanning frequency and used to generate an image in the light of these radiation. A device suitable for carrying out the method has a scanning unit (53) e.g. an oscillating mirror over which both the stimulating light beam and the radiation to be detected are guided. This results in constant imaging ratios between sample (54) and detector (63) at all deflection angles. A separate detector (55) is used to detect photoelectrons. In this case, the light reflected by the sample (54) is passed through the scanning unit (53) to generate a further image.

Inventors

• 👤 Werner Prof.Dr. Schmidt
• 👤 Klaus Dr. Weber
• 👤 Gerhard Prof.Dr. Müller
• 👤 Volker Dr. Wilke

Bibliographic Details