Process for manufacturing self-supporting metallic screens

Abstract

Abstract Translated from German In Gasanalysegeräten können Nickelgitter als Mikroströmungsfühler verwendet werden. Bisher werden die Nickelgitter einzeln auf V2A-Platten auf fototechnisch/galvanischem Weg hergestellt. Nach der Erfindung können Mikroströmungsfühler als kompakte Einheiten aus Dünnglasscheiben durch Kombination von doppelseitiger Vakuummetallisierung, Fototechnik, Galvanik und Ätztechnik hergestellt werden. Auf diese Weise können mehrere Einheiten auf einem Substrat erzeugt werden. Die optische und elektrische Prüfung ist somit weitgehend vereinfacht und außerdem sind mit geringem Aufwand viele Ausführungsformen realisierbar. Nickel grids can be used as micro flow sensors in gas analyzers. So far, the nickel grids have been manufactured individually on V2A plates by photo / galvanic means. According to the invention, microflow sensors can be produced as compact units from thin glass panes by combining double-sided vacuum metallization, photo technology, electroplating and etching technology. In this way, multiple units can be created on a substrate. The optical and electrical testing is thus largely simplified and, in addition, many embodiments can be implemented with little effort.

Inventors

• 👤 Hans Dr. Rer. Nat. Dipl.-Chem. Schuster-Woldan
• 👤 Hermann Ing. grad. Bürk
• 👤 Dirk Ing. Grad. Koch
• 👤 Kaspar Dr. Rer. Nat. Dipl.-Chem. Weingand

Bibliographic Details