Process for automatically adjusting the voltage-resolution of a corpuscular radiation-measuring apparatus, and device therefor

Abstract

Abstract Translated from German Mit einem Verfahren zur Einstellung der Spannungsauflösung in Korpuskularstrahl-Meßgeräten, bei dem die Bandbreite der Meßsignal-Verarbeitung verändert wird, soll eine gewünschte Spannungsauflösung einfach, zuverlässig und mit hoher Genauigkeit eingestellt werden können. Zu diesem Zweck wird das Signalrauschen im Meßsignal gemessen. Dieses Signalrauschen wird mit einem gewünschten Wert (S) für die Meßsignal-Auflösung verglichen und die Bandbreite der Meßsignal-Verarbeitung wird so verändert, daß das Signalrauschen des Meßsignals kleiner oder gleich dem gewünschten Wert (S) für die Meßsignal-Auflösung ist. With a method for setting the voltage resolution in corpuscular beam measuring devices, in which the bandwidth of the measurement signal processing is changed, a desired voltage resolution should be able to be set simply, reliably and with high accuracy. For this purpose, the signal noise is measured in the measurement signal. This signal noise is compared with a desired value (S) for the measurement signal resolution and the bandwidth of the measurement signal processing is changed so that the signal noise of the measurement signal is less than or equal to the desired value (S) for the measurement signal resolution.

Inventors

• 👤 Hans-Peter Dr.-Ing. Dipl.-Phys. Feuerbaum
• 👤 Peter Dipl.-Ing. Fazekas

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