Process for obtaining negative images from positive photoresists

Abstract

Abstract Translated from German Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Her­sellung negativer Bilder aus einem positiv arbeitenden Photoresist. Man stellt ein lichtempfindliches Gemisch, bestehend im wesentlichen aus einem wasserunlöslichen, in alkalischen Lösungsmitteln löslichen Harz, 1,2-Chinon-(2)-­diazid-4-sulfonsäureester und einen in Gegenwart von Säure wirkenden Vernetzer in einem Lösungsmittel, her. Nach Aufbringen der Lösung auf einen Schichtträger und Verdunsten des Lösungsmittels wird bildmäßig belichtet, die lichtempfindliche Schicht getempert und die unbelich­teten Bereiche durch Entwickeln entfernt. The present invention relates to a method for producing negative images from a positive-working photoresist. A light-sensitive mixture consisting essentially of a water-insoluble resin which is soluble in alkaline solvents, 1,2-quinone- (2) -diazide-4-sulfonic acid ester and a crosslinking agent which acts in the presence of acid in a solvent are prepared. After the solution has been applied to a support and the solvent has evaporated, exposure is carried out imagewise, the photosensitive layer is annealed and the unexposed areas are removed by development.

Inventors

• 👤 Mark A. Spak
• 👤 Dana Durham
• 👤 Donald Mammato
• 👤 Sangya Jain

Bibliographic Details