Piezoelectric differential vibrating accelerometer

Abstract

Abstract Translated from French L'accéléromètre différentiel, monoaxial à sortie de fréquence, comprend une plaque sensible (10) piézoélectrique monobloc mince dans le plan de laquelle est situé un axe sensible (X). La plaque (10) comporte deux fentes rectilignes (15, 15') parallèles à l'axe sensible (X) et définissant entre elles deux zones de vibration alignées selon l'axe sensible (X) et identiquement sensibles aux variations de température. Les zones de vibration sont comprises chacune entre deux électrodes (3, 4; 3', 4') pour former des résonateurs (20, 21) dont les sensibilités s'ajoutent pour une accélération orientée selon l'axe sensible (X) et dont les sensibilités se retranchent pour une accélération orientée dans un plan perpendiculaire à l'axe sensible (X). Les résonateurs (20, 21) sont insérés dans les circuits de deux oscillateurs (73, 74) dont le battement constitue le signal de sortie de l'accéléromètre différentiel. <IMAGE> The differential accelerometer, monoaxial with frequency output, comprises a sensitive plate (10) piezoelectric monobloc thin in the plane of which is located a sensitive axis (X). The plate (10) has two rectilinear slots (15, 15 ') parallel to the sensitive axis (X) and defining between them two vibration zones aligned along the sensitive axis (X) and identically sensitive to temperature variations. The vibration zones are each comprised between two electrodes (3, 4; 3 ', 4') to form resonators (20, 21) whose sensitivities are added for an acceleration oriented along the sensitive axis (X) and whose the sensitivities are cut off for an acceleration oriented in a plane perpendicular to the sensitive axis (X). The resonators (20, 21) are inserted into the circuits of two oscillators (73, 74) whose beat constitutes the output signal from the differential accelerometer. <IMAGE>

Inventors

• 👤 Raymond Besson
• 👤 Roger Bourquin
• 👤 Bernard Dulmet
• 👤 Pierre Maître

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