Method of etching workpieces in a vacuum chamber

Abstract

Abstract Translated from German Zur verbesserten Verwirbelung des Gases in der Reaktionszone (21) einer Vakuumkammer werden der Zuführdruck des Gases und die Düsen zur Zufuhr des Gases so bemessen, daß das Gas mit Schallgeschwindigkeit aus den Düsen austritt. Hierzu wird bei Einhaltung eines Druckbereiches von 0,07 bis 0,7 bar bei der Gaszufuhr in die Düsenleitung ein Verhältnis zwischen Länge und Querschnitt der die Düsen bildenden Leitungen (Nuten 51) im Bereich von 0,2 bis 0,4 x 10<4> mm<->¹ gewählt. To improve the swirling of the gas in the reaction zone (21) of a vacuum chamber, the feed pressure of the gas and the nozzles for feeding the gas are dimensioned such that the gas emerges from the nozzles at the speed of sound. For this purpose, a ratio between the length and the cross section of the lines forming the nozzles (grooves 51) in the range of 0.2 to 0.4 x 10 <4 is maintained when maintaining a pressure range of 0.07 to 0.7 bar when supplying gas to the nozzle line > mm <-> ¹ selected.

Inventors

• 👤 Javathu Kutikaran Hassan
• 👤 John Angelo Paivanas

Bibliographic Details