Packaging for materials sensitive to humidity

Abstract

Abstract Translated from German Eine Verpackung für Fotoresistmaterial (2), beispielsweise einen Trockenresist, besteht aus einem Folienschlauch (1), dessen Enden nach dem Einbringen einer Fotoresistrolle zugeschweißt oder verklebt werden. Als Material für den Folienschlauch wird ein Verbund aus einer Polyester-­Folie als Trägerfolie, auf der eine Aluminiumfolie auf­kaschiert oder Aluminium aufgedampft ist, und einer auf-kaschierten Polyethylen-Folie verwendet. Desweiteren wird als Verpackung ein Weißblechkanister verwendet, der nach dem Einbringen des Fotoresist­materials zugelötet wird. Bei jeder der beiden Ver­packungen ist die Wasserdampfdurchlässigkeit kleiner als 0,01 g Wasserdampf pro Quadratmeter und Tag, bei einem Feuchtegefälle von 97 % und einer Umgebungstem­peratur von 23 °C. A packaging for photoresist material (2), for example a dry resist, consists of a film tube (1), the ends of which are welded or glued after the introduction of a photoresist roll. The material for the film tube is a composite of a polyester film as the carrier film, on which an aluminum film is laminated or aluminum is evaporated, and a laminated polyethylene film. Furthermore, a tinplate canister is used as packaging, which is soldered after the photoresist material has been introduced. With each of the two packages, the water vapor permeability is less than 0.01 g of water vapor per square meter and day, with a moisture gradient of 97% and an ambient temperature of 23 ° C.

Inventors

• 👤 Hans Dr. Dipl.-Chem. Wilski
• 👤 Hermann Schmidt

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