Device for coating a substrate with a dielectric

Abstract

Abstract Translated from German Die Erfindung betrifft eine Anordnung zum Beschichten eines Substrats (1) mit Dielektrika, die eine Gleichstromquelle (10) aufweist, welche mit einer Elektrode (5) verbunden ist, die elektrisch mit einem Target (3) in Ver­bindung steht, das zerstäubt wird. Die zerstäubten Teilchen des Targets (3) gehen mit einem zugeführten Stoff eine Verbindung ein, die sich auf dem Substrat (1) niederschlägt. Durch das Target (3) greifen toroidförmige Magnetfelder hindurch, deren Feldlinien im Bereich von Magnetpolen aus der Oberfläche des Targets (3) heraustreten. Erfindungsgemäß ist eine Wechselspannungsquelle (30) vorgesehen, deren Ausgangsspannung der Gleich­spannung der Gleichstromquelle (10) überlagert ist. Hierbei entspricht die elektrische Leistung der Wechselstromquelle (30), die der Elektrode (5) zugeführt wird, 5 % bis 25 % der von der Gleichstromquelle (10) der Elek­trode (5) zugeführten Leistung. The invention relates to an arrangement for coating a substrate (1) with dielectrics, which has a direct current source (10) which is connected to an electrode (5) which is electrically connected to a target (3) which is atomized. The atomized particles of the target (3) enter into a compound with a supplied substance, which is deposited on the substrate (1). Toroidal magnetic fields reach through the target (3), the field lines of which emerge in the area of magnetic poles from the surface of the target (3). According to the invention, an alternating voltage source (30) is provided, the output voltage of which is superimposed on the direct voltage of the direct current source (10). The electrical power of the alternating current source (30) which is supplied to the electrode (5) corresponds to 5% to 25% of the power supplied by the direct current source (10) to the electrode (5).

Inventors

• 👤 Michael Dr. Dipl.-Phys. Scherer
• 👤 Rudolf Dr. Dipl.-Phys. Latz
• 👤 Ulrich Dr. Patz

Bibliographic Details