Electrostatic substrat holder

Abstract

Abstract Translated from French Porte-substrat (3) de maintien en place de substrat en forme de plaquettes (1) de micro-électronique par des forces électrostatiques. Substrate holder (3) for holding the microelectronic plate-shaped substrate (1) in place by electrostatic forces. Une des électrodes employées est filiforme (5) et s'étend sous la périphérie du substrat (1), alors que l'autre électrode (6) est continue, pleine et entourée par la précédente ce qui garantit une bonne planéité et donc un bon contact thermique de la plaquette (1) aussi bien hors que sous plasma. One of the electrodes used is filiform (5) and extends under the periphery of the substrate (1), while the other electrode (6) is continuous, full and surrounded by the previous one which guarantees good flatness and therefore good thermal contact of the wafer (1) both outside and under plasma.

Inventors

• 👤 Jean-François Daviet
• 👤 Pierre Jeuch
• 👤 Louise Peccoud
• 👤 Pierre Renard

Bibliographic Details